(三选一)【化学与技术】 氮化硅(Si3N4)是一种优良的高温结构陶瓷,在工业生产和科技领域有重要用途。 I.工业上有多种方法来制备氮化硅,常见的方法有: ①方法一 直接氮化法:在1300~1400℃时,高纯粉状硅与纯氮气化合,其反应方程式为__________________________。 ②方法二 化学气相沉积法:在高温条件下利用四氯化硅气体、纯氮气、氢气反应生成氮化硅和HCl,与方法一相比,用此法制得的氮化硅纯度较高,其原因是__________________ ③方法三 Si(NH2)4热分解法:先用四氯化硅与氨气反应生成Si(NH2)4和一种气体__________ (填分子式);然后使Si(NH2)4受热分解,分解后的另一种产物的分子式为_________。 Ⅱ.工业上制取高纯硅和四氯化硅的生产流程如下: |