1．能否用四探针法测量n／n+外延片及p／p+外延片外延层的电阻率?

题目

1．能否用四探针法测量n／n+外延片及p／p+外延片外延层的电阻率?
2．能否用四探针法测量n／p外延片外延层的电阻率?
3．为什么测量单晶样品电阻率时测试平面要求为毛面,而测试扩散片扩散层薄层电阻时测试面可为镜面?

答案