晶体硅是一种重要的非金属材料。制备纯硅的主要步骤如下: ①高温下用碳还原二氧化硅制得粗硅; ②粗硅与干燥HCl气体反应制得SiHCl3:Si+3HCl SiHCl3+H2; ③SiHCl3与过量H2在1000~1100℃反应制得纯硅。已知SiHCl3能与H2O剧烈反应,在空气中易自燃。 请回答下列问题: (1)第①步制备粗硅的化学方程式为________________。 (2)粗硅与HCl反应完全后,经冷凝得到的SiHCl3(沸点33.0℃)中含有少量SiCl4(沸点57.6℃)和HCl(沸点 - 84.7℃),提纯SiHCl3的方法为_________________。 (3)用SiHCl3与过量H2反应制备纯硅的装置如图所示(热源及夹持装置均已略去): |