扫描电镜中,入射电子束与固体样品相互作用产生哪几种物理信号?各有什么用途?
题目
扫描电镜中,入射电子束与固体样品相互作用产生哪几种物理信号?各有什么用途?
答案
原子中核外电子对入射电子的散射作用是属于非弹性散射过程.在散射过程中入射电子所损失的能量部分转变为热,部分使物质中原子发生电离或形成自由载流子（在半导体情况下）,并伴随着产生各种有用信息,如：二次电子、俄...
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